工作原理：在傳感器外殼中的流量管振動有它的固有頻率。振動管由安裝于振動管端部的電磁驅動線圈驅動作近似于音叉的振動。當流體流入流量管時被強制接受流量管的垂直運動。在流量管向上振動的半個周期時，流體反抗管子向上運動對其垂直動量的增加而對流量管施加一個向下的力。反之，流出流量管的流體至流量管施加一個向上的力以反抗管子向上振動而對其垂直動量的減少。這便導致了流量管產生扭曲。在振動的另外半個周期，流量管向下振動，扭曲方向則相反。這一扭曲現象被稱之為科里奧利（Coriolis）現象。根據牛頓**定律，流量管扭曲量的大小是完全與流經流量管的質量流量的大小成正比的。安裝于流量管兩側的電磁信號檢測器用于檢測振動管的振動。質量流量大小是由這兩個信號的相位差來決定的，當沒有流體流過流量管時，流量管不產生扭曲，兩邊電磁信號檢測器的檢測信號是同相位的，當有流體互流量管時產生流量管的扭曲，從而導致丙個檢測信號的相位差，這一相位差直接正比于流過的質量流量。

熱式氣體質量流量計的產品特點

1、質量流量計可以準確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。

2、質量流量計可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示、累積流量自動計量、數據自動記錄、計算機管理等。對質量流量計而言，還可以實現流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA,數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口,能非常方便地與計算機連接,進行自動控制。

3、對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計，則一般可以忽略不計。

4、質量流量計有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產品*小流量范圍可達0～5sccm，**流量范圍可達0～200slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2～**量程比為50:1,因此在很多領域得到廣泛應用。